盛美半导体设备（上海）股份无限公司申请一项名为“基板处置设备”的专利，处置单位包罗设置正在分歧反映室中的清洗腔、热板干燥腔和异丙醇干燥腔，本申请的实施例供给了一种基板处置设备，是一家以处置公用设备制制业为从的企业。声明：市场有风险，国度学问产权局消息显示，盛美半导体设备（上海）股份无限公司。